VTS 显微式激光测振仪由南京维提思研发，基于激光多普勒与自混合干涉技术，专为微纳机电、微电子器件设计。采用 633nm 等可见激光，安全等级高，可测小于 10μm 微结构，位移分辨率达 31pm，支持 DC~35MHz 带宽。集成显微定位、电动载台与信号激励，适配真空 / 高低温环境，软件功能全，适用于 M/NEMS、微谐振器、微传感器等高精度振动测试与研发分析。