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南京维提思 VSM-1000-MICRO 显微式激光测振仪，专为 MEMS、MOEMS 等微型物体振动分析设计，将自混合激光测振仪头集成于高性能数字显微镜，兼具高透射率与精准聚焦性能，适配非平面微型测试对象。设备配备 5X、20X、50X 可选物镜，光斑尺寸最小 4μm，工作距离 20.5-45mm，可覆盖 2μm-3mm 尺寸物体测量。频率范围 0-50kHz（可扩至 25MHz），噪声等效位移 10pm/√Hz，测量精度 1%，精准捕捉微小振动。显微镜含精确手动聚焦滑块与长立式支架，支持 X-Y 平移台精准对位，可选光纤照明器优化观测。搭配百万像素相机与专用软件，广泛应用于微型器件振动测试，兼顾灵活性与高精度。

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