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南京维提思显微式单点扫描激光测振仪基于激光多普勒与自混合干涉原理，采用 633nm 安全激光，可测小于 10μm 的微纳器件，位移最优分辨率 31pm，测振精度优异。设备集成多类型信号激励与同步采集，适配 - 190℃~500℃真空高低温环境，软件支持二次开发与多格式数据输出，是微纳机电、半导体等领域微振动测试的核心精密仪器。

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